NE-PE10納恩科技100L真空等離子清洗活化機(jī)
ne-pe10是一款小型真空等離子處理系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于科研院校，企業(yè)研發(fā)單位和小批量生產(chǎn)打樣。設(shè)備采用進(jìn)口品牌高性能旋片真空泵快速產(chǎn)生一個(gè)小于1-2 pa的真空壓強(qiáng)，同時(shí)根據(jù)客戶工藝要求，對(duì)真空反應(yīng)腔室內(nèi)通入不同的混合工藝氣體，采用進(jìn)口高品質(zhì)等離子發(fā)生器，使得通入的工藝氣體產(chǎn)生等離子體，并確保穩(wěn)定產(chǎn)生高密度，高能量的離子。等離子體與材料發(fā)生復(fù)雜的物理，化學(xué)反應(yīng)，可以實(shí)現(xiàn)不同的工藝功能，比如清洗，活化，刻蝕與涂敷等。等離子態(tài)顯著的特點(diǎn)是高均勻性輝光放電，根據(jù)不同氣體發(fā)出從藍(lán)色到深紫色的色彩可見光。
設(shè)備原理示意圖：如上
ne-pe10 系統(tǒng)功能特點(diǎn)：
•耐用的高品質(zhì)不銹鋼結(jié)構(gòu)和固定裝置
•不銹鋼托盤設(shè)計(jì)，雙層處理空間
•8k鏡面不銹鋼腔體，卓越密封性
•數(shù)字高頻等離子發(fā)生器，產(chǎn)生高密度等高子體，確保出眾的清洗效果
•plc+觸摸屏控制，過程參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)控
•方便定期校準(zhǔn)設(shè)備連接驗(yàn)證過程中使用的要求
•支持各種工藝氣體，包括氬氣，氧，氫，氦和氟化氣體
•通過聯(lián)鎖門或可移動(dòng)的板
•兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的浮子針閥流量控制器
•性能卓越的雙極旋片泵，高抽速，壽命長，耐腐蝕
序號(hào)
項(xiàng)目
型號(hào)規(guī)格
參數(shù)
1
等離子體發(fā)生器
功率
0-300w可調(diào)
抗輻射干擾高頻匹配器
自動(dòng)阻抗匹配
頻率
40khz
2
真空反應(yīng)腔室
腔體材質(zhì)
進(jìn)口 316 不銹鋼，軍工級(jí)密封
腔體容積
10l
腔體尺寸
200(l)*200(w)*270(d)mm
電極數(shù)量
2個(gè)鍍金鋁合金專用電極+ 2個(gè)鋁合金托盤
托盤尺寸
w*d :180（w）×220（d）mm
處理層數(shù)
2層
絕緣陶瓷
進(jìn)口高頻陶瓷
3
氣路控制
氣體流量控制器
浮子針閥流量控制器， 0-500ml
氣路數(shù)量
最小2路氣體，支持氧氣，氬氣，氮?dú)?，氫氣，四氟化碳?br>4
真空測量
真空計(jì)
smc 真空計(jì)
5
抽氣系統(tǒng)
真空泵
飛越 16m3/h
極限真空度
0.1pa
真空管路
不銹鋼管路+氣動(dòng)閥門
6
控制系統(tǒng)
觸摸屏
4.3寸
plc
松下plc模塊
軟件程序
自主專利設(shè)計(jì)等離子控制系統(tǒng)
7
場務(wù)條件
電源供應(yīng)
220v
氣管接口
直徑8mm
氣體純度
99.99%
氣體壓力
0.3-0.6mpa
排氣口
kf25
8
整機(jī)參數(shù)
整機(jī)功率
1000w
外形尺寸
460（l）*460（w）*650（h）mm
(不含三色燈高度)
重量
60kg
