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CSNS順利推出自主研制的碳化硼薄膜,從而實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化

據(jù)悉,日前中國(guó)散裂中子源(csns)探測(cè)器團(tuán)隊(duì)利用自主研制的磁控濺射大面積鍍硼**裝置,成功研發(fā)出滿足中子探測(cè)器需求的高性能大面積碳化硼薄膜樣品lopgubqhs。
根據(jù)相關(guān)資料顯示,相關(guān)薄膜單片面積達(dá)到 1500mm×500mm,薄膜厚度 1微米,全尺寸范圍內(nèi)厚度均勻性** ±1.32%,號(hào)稱是“目前**上用于中子探測(cè)的較大面積的碳化硼薄膜”。
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據(jù)介紹,研究團(tuán)隊(duì)歷經(jīng)多年較終克服濺射靶材制作、過(guò)渡層選擇、基材表面處理等對(duì)鍍膜質(zhì)量影響大的關(guān)鍵技術(shù),從而順利研發(fā)出*的磁控濺射大面積鍍硼**裝置。
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