等離子清洗機(jī)

離子清洗機(jī)kt-s2dqx,用于表面清洗,活化,刻蝕等離子清洗機(jī)電源屬于150w 13.56mhz的射頻電源。作為一種精密干法清洗設(shè)備，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜工藝、pcb制程、pcb制程、元器件封裝前、cog前、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗，塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等。
該等離子清洗機(jī)kt-s2dqx,用于表面清洗,活化,刻蝕清洗機(jī)內(nèi)置高純石英倉體，容積為2升。采用了新型的外觀結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和固態(tài)電源技術(shù)，使其有效容積增大，不同真空 氣體環(huán)境下容易匹配，且控制頻率穩(wěn)定。真空倉門有觀察窗，可直觀物體的處理過程，其射頻電源與控制都組裝在一個(gè)機(jī)箱內(nèi)，即減少了空間的占用，更便于操作和放置，同時(shí)與大型清洗機(jī)相比較，從檢測(cè)功能與控制功能的設(shè)置上均可一個(gè)面板上操作，特別適用科學(xué)實(shí)驗(yàn) 樣品清洗 和教學(xué)。
供電電源
ac220v（ac110v可選)
工作電流
整機(jī)工作電流不大于3.5a(不含真空泵)
射頻電源功率
150w
射頻頻率
13.56mhz
頻率偏移量
＜0.2mhz
特性阻抗
50歐姆，手動(dòng)匹配
耦合方式
電容耦合
真空度
≤100pa
腔體材質(zhì)
高純石英
腔體容積
2l(內(nèi)徑110mmx深度220mm)
觀察窗內(nèi)徑
φ65