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高純氬在半導體工業頂用作出產高純硅和鍺晶體的維護5261氣體;可用作體系,增壓用的惰性氣體;在化學氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所使用4102。高純氬也可作為色譜載氣。氬被廣泛用來充填弧光燈、熒光燈和電子管;維護氣;在鈦、鈷和其他金屬的出產頂用1653作氣;在黑色冶金頂用于吹煉特種鋼。
­性質:無色無味氣體。化學性質不生動,未形成任何化合物。相對密度ds(21.1℃)1.38。氣體密度1.650kg/m3(21.1℃);液體密度1394.0kg/m3(-185.9℃)。沸點-185.9℃。熔點-189.2℃。采用空氣別離提氬,行將液化的空氣進行精餾,得到粗氬。抽出粗氬,經進一步提純可得到高純氬。

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