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背壓法氦質譜檢漏的簡單步驟
質譜檢漏實際應用中有很多具體的方法，其中背壓法也是其中一種，我們來了解下背壓法氦質譜檢漏的幾個步驟。
背壓法氦質譜檢漏檢漏過程主要包括三個步驟：
首先是充壓。將被檢件在充有高壓示漏氣體的容器內存放浸泡一定時間。如果被檢件有漏孔，示漏氣體會通過漏孔進入到被檢件內部。隨著浸泡時間的增加和充壓壓力的提高，這個被檢件內部的示漏氣體分壓也會逐漸升高。
然后是凈化。用干燥氮氣或干燥空氣在充壓容器外部或在其內部吹被檢件，在不具備氣源時可以靜置被檢件，這樣做的目的是去除吸附在被檢件外表面上的示漏氣體。這個過程中，會有部分示漏氣體從被檢件內經漏孔流失，導致被檢件內部示漏氣體分壓力下降。因此凈化階段時間越長，示漏氣體的分壓將越大。
第三個步驟就是檢漏。經過凈化的被檢件被放入真空室，真空室與檢漏儀相連，進行檢漏。抽真空后，由于壓差作用，示漏氣體通過漏孔從被檢件內部流出，而后經過真空室進入檢漏儀，根據(jù)檢漏儀的輸出指示可以判定漏孔的存在以及漏率。
怎么樣影響氦質譜檢漏儀檢測精度穩(wěn)定時間對檢測的影響
在充氣的時候，壓縮空氣會因為受壓狀態(tài)而進入一個密閉容器后，引起一系列的熱力學-動力學變化。即當一定體積的壓縮空氣迅速移至一密閉容器后，其壓力會發(fā)生降低，若此時進行測量，則這種壓力的變化會被視作一個由泄漏所引起的壓力變化，影響測量結果的準確性。這種“沖氣效應”受充氣壓力、測試容積及測試件材料影響。當充氣壓力或測試容積增加時，這種充氣引起的壓力降低隨之變得明顯。解決這個問題的辦法之一是在充氣與測量之間增加一段穩(wěn)定時間來消除這種影響。
氦質譜檢漏儀以及氦質譜檢漏，在實際應用中，氦質譜檢漏顧名思義一般都會采用氦氣作為的示漏氣體，這是為什么呢？
氦質譜檢漏儀雖然是因為選用氦氣作為示漏氣體而得名，但實際上涉及的示漏氣體包括氦氣、氫氣等，主要的是氦氣。而之所以選擇氦氣作為主要的示漏氣體，原因主要有以下幾點：
1、氦氣的質量輕，易于穿過漏孔，進入系統(tǒng)時流動和擴散快，因此響應快，鋰電池氦檢測漏機，檢漏靈敏度高。
2、氦離子質荷比小，因此可以減小磁分析器偏轉半徑的尺寸和選用較弱一點的磁場。同時一階氦離子的質荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大，利于離子分離，可以適當降低對分析器制造精度的要求，使質譜室中氦離子通過的各個縫隙，從而提高氦離子的傳輸率。
3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少，在材料出氣中氦氣也很少，因此本底壓力小，檢漏時本底信號小。
以上這些因素都為提高氦質譜檢漏儀器的靈敏度創(chuàng)造了良好條件。另外，氦氣作為一種惰性氣體，性質不活潑，不與真空器件起化學反應，*，也不會污染環(huán)境，因此使用起來也十分安全。
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