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振動標(biāo)準(zhǔn),隔震等級,VC曲線

vc標(biāo)準(zhǔn)曲線(vc振動標(biāo)準(zhǔn))由eric ungar和colin gordon于20世紀(jì)80年代初開發(fā)。它們較初是作為半導(dǎo)體、醫(yī)療和生物制藥行業(yè)振動敏感設(shè)備的通用振動標(biāo)準(zhǔn)而開發(fā)的,但現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于各種技術(shù)領(lǐng)域。vc振動標(biāo)準(zhǔn)采用了一組三分之一倍頻程頻帶速度譜的形式,以及**標(biāo)準(zhǔn)化組織(iso)關(guān)于振動對建筑物內(nèi)人員影響的指導(dǎo)方針。該標(biāo)準(zhǔn)適用于在垂直和兩個水平方向測量的振動。對于某種用于安裝精密設(shè)備或儀器的地基,所測得的三分之一倍頻程速度譜曲線的所有頻率點(diǎn)必須落在振動等級(vc)曲線對應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)曲線之下。
nist-a標(biāo)準(zhǔn)是為計量學(xué)而開發(fā)的,但在納米技術(shù)界很受歡迎。在一些低頻振動明顯的場所,nist-a標(biāo)準(zhǔn)很難達(dá)到。現(xiàn)在,vc標(biāo)準(zhǔn)曲線已被全世界廣泛接受,可作為設(shè)計設(shè)施的基礎(chǔ),以滿足一組對振動高度敏感的設(shè)備在一起使用時的要求。但實(shí)際上,vc-f之后的隔振等級vc曲線都不建議用作設(shè)計標(biāo)準(zhǔn),僅用于評估。密歇根大學(xué)**低振動實(shí)驗室(ulvl)于2014年竣工。建成后,對**低振動實(shí)驗室箱體進(jìn)行了振動調(diào)查。測量結(jié)果表明,即使只有一輛車在附近的街道上行駛,振動也**過了**低振動實(shí)驗室所需的nist-a規(guī)格。對于振動標(biāo)準(zhǔn)vc-m而言,目**般認(rèn)為:vc-m是可測得的較低值,但現(xiàn)今還無法在此標(biāo)準(zhǔn)下進(jìn)行準(zhǔn)確的振動測量,因為現(xiàn)今較敏感的傳感器也因為傳感器的內(nèi)部噪聲而降低了靈敏度,無法達(dá)到vc-m振動等級的測量基準(zhǔn)。
主動隔震臺一般能將隔震等級提升一級,例如使用kns的主動隔震臺后,vc-b提升到vc-c?,F(xiàn)如今,大部分的隔振臺的隔震等級都是vc-a、vc-b、vc-c,少數(shù)的主動隔振臺能到達(dá)vc-d的隔震效果。
k&s arismd振動標(biāo)準(zhǔn)可達(dá)vc-d,適用于電子顯微鏡(tem和sem),重量輕、結(jié)構(gòu)緊湊的桌面主動隔振系統(tǒng),可抵消敏感設(shè)備的有害振動,降幅可達(dá)80%-90%。流線型設(shè)計使其能夠無縫地成為工作站環(huán)境的一部分,并且其簡單的組成不需要后續(xù)的調(diào)整。主動隔離范圍0.5-100hz,1hz時增益~8db,2hz時增益~20db。
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