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掃描測頭
掃描測頭在進行單點觸發采點時，其工作方式與觸發式測頭有很大的區別。觸發式測頭的采點是在測頭觸發開始時發生的;而掃描測頭則是采用模擬信號轉換的方式，三坐標測量機，其單個采點是在測頭觸發結束、測針離開物體表面時發生的。這兩種不同的采點方式造成的顯而易見的區別就是觸發測頭采點速度顯著高于掃描測頭。觸發測頭的采點給人的感覺是“一碰即退”，而掃描測頭采點則是測針碰到工件后，會短暫粘滯在工件表面，三坐標測量機代理，然后緩慢回退至離開工件表面。
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三坐標測頭
光學測頭相比接觸式測頭還有另一方面的優勢。接觸式測頭采點時，測頭記錄的是測球中心的空間坐標，然后根據測球半徑來進行補償，三坐標測量機報價，得出實際點的坐標。但當測量特定位置的三維曲線時，如果不按照測點的法線方向去采點，會存在半徑補償余弦誤差;而如果按照測點的法線方向去采點，又會產生實際測點位置出現偏差的情況。這種情形在測量透平葉片時尤為常見。
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