半自動撕膜機SINTAIKE_STK-5120晶圓減薄后
半自動撕膜機sintaike_stk-5120晶圓減薄后
半自動撕膜機stk-5120晶圓減薄特點:
·機械手撕膜技術,無耗材撕膜
·全自動撕膜和收集廢膜
·手動放置和取出晶圓,或帶承載環(huán)貼膜的晶圓
·8”陶瓷晶圓臺盤可以匹配8”晶圓/承載環(huán)
·12”陶瓷晶圓臺盤可以匹配12”晶圓/承載環(huán)
·基于plc控制,帶5.7”觸摸屏
·去離子風扇和esd保護
·uv膜&非uv膜能力
·配置光簾保護功能,和緊急停止按鈕
·三色燈塔和蜂鳴器用于操作狀態(tài)監(jiān)控
晶圓減薄后stk-5120半自動撕膜機規(guī)格:
晶圓尺寸:8”12”晶圓;
厚度:150 ~750微米;
晶圓種類:硅平邊或v型缺口晶圓;
撕膠膜種類:撕膜膠帶;
寬度:38~100毫米;
長度:100米;
撕膜角度:<45度,并且在 5°~45°可調節(jié);
撕膜溫度:室溫到100 ℃范圍可調,控溫精度+/-3℃;
晶圓臺盤:通用防靜電特氟龍涂層接觸式金屬臺盤;
帶可控加熱功能,溫度max可達100℃;
臺盤帶吸真空功能;
裝卸方式:晶圓手動放置與取出;
防靜電控制:離子風扇;
晶圓定位:彈簧銷釘定位;
控制單元:基于plc 控制,并配有5.7”觸摸屏;
驅動單元:伺服馬達驅動;
安全保護:配置緊急停機按鈕;
電源電壓:單相交流電220v,5a;
壓縮空氣:5公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘80升/分鐘;
機器外殼:白色噴塑金屬外殼;
機器指示:三色燈塔顯示機臺工作狀態(tài);
體積:660毫米(寬) x 1170毫米(深) x 1000毫米(含燈塔高);
凈重:75公斤;
了解更多:http://www.hapoinwafer_mounter/stk-5120.htm
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