福州大學(xué)離子束刻蝕機(jī)順利驗(yàn)收

烈日炎炎，熱情滿心間！后疫情時(shí)代，nano-master工程師步履不停，一站接一站為客戶提供設(shè)備安裝調(diào)試服務(wù)。首站福州大學(xué)，那諾-馬斯特工程師已順利安裝驗(yàn)收nie-3500型離子束刻蝕機(jī)！
性能配置：
離子束刻蝕機(jī)用于刻蝕金屬和介質(zhì)，z大可支持6”晶圓。
配套美國(guó)考夫曼-羅賓遜 kdc160離子槍，650ma，100-1200v。刻蝕速率：~250a/min對(duì)au；刻蝕均勻度：對(duì)4”片，片內(nèi)均勻性**±3%，重復(fù)性**±3%。
樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速0-30rpm精確可控；可任意角度傾斜，支持斜齒刻蝕；帶水冷功能，刻蝕后易去除光刻膠。
極限真空12小時(shí)可達(dá)6x10-7torr，15分鐘可達(dá)10-6torr量級(jí)的真空；采用雙真空計(jì)，長(zhǎng)期可靠，使用穩(wěn)定。
14”不銹鋼立方腔體，配套一臺(tái)主控計(jì)算機(jī)，20”觸摸屏監(jiān)控，配合labview軟件，實(shí)現(xiàn)計(jì)算機(jī)全自動(dòng)工藝控制，并可在電源中斷情況下安全恢復(fù)；完全的安全聯(lián)鎖；支持百級(jí)**凈間使用。
驗(yàn)收培訓(xùn)：
安裝調(diào)試視頻：
那諾-馬斯特中國(guó)有限公司專注于磁控濺射系統(tǒng),刻蝕系統(tǒng),清洗去膠系統(tǒng)等