鑠思百檢測可以測試3D輪廓儀

儀器名稱：
3d輪廓儀
儀器型號：
美國kla-tencor d-120
檢測項目：
1、薄膜、涂層厚度測量；
2、臺階高度測量；
3、表面粗糙度測量；
4、2維薄膜應力測量；
5、平坦度、波紋度、曲率測量；
6、表面輪廓（缺陷、形貌等）測量。
應用范圍：
可用于微電子、半導體、太陽能、薄膜、材料等領域實現納米級別表面二維形貌測量。垂直分辨率蕞大1a；垂直范圍0-1mm；單次掃描長度范圍小于55mm。
制樣要求：
長寬小于30mm，厚度小于20mm，
3d輪廓儀一款測量工具，該工具可以通過電腦軟件對一件物體進行測量，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級，那三維光學輪廓儀具有哪些原理呢，下面就讓我們來了解一下吧。
3d輪廓儀
一、原理：
3d輪廓儀基于白光干涉掃描技術，用于樣品表面顯微鏡檢查。精密儀器測量的顯著特點是它可以達到納米級的檢測精度，并能快速獲取待測工件表面的三維形狀和數據。其主要目的是用于成品的質量管理，以確保良好的產量。可廣泛應用于各類精密工件表面質量要求如：半導體，微機電，納米材料，生物醫學，精密涂料，科研院所，航空航天等領域。可以說，只要測量微小范圍內關鍵部件的納米粗糙度，輪廓等參數，除了3d輪廓儀外，沒有其他儀器和設備可以滿足精度要求。
二、3d輪廓儀的特點是：
1、業界蕞高的垂直分辨率，最強大的測量性能；
2、放大0.5至200倍；
3、在任何放大倍數下的子級到毫米垂直測量范圍；
4、3d輪廓儀測量硬件的獨特設計，以提高生產環境的可靠性和可重復性；更高的振動獲得專利的自動校準公差和gr測量功能；
5、 vision64軟件在多核處理器下運行，大大提高了三維表面測量和分析速度，加快了數據處理速度增加了幾倍;將分析速度提高十倍；
6、無與倫比的無縫數據拼接功能；
7、3d光學分析儀具有高度直觀的用戶界面，業界最強的實用性，易操作性和強大的分析能力極大優化的用戶界面大大簡化了測量和數據分析過程;獨特的視覺操作工具，一個可以自己設置數據輸出的接口。
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